Microfabrication and microsensors

Shuichi Shoji*, Masayoshi Esashi

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

抄録

In order to fabricate microsensors, a micromachining, microfabrication technique based on LSI technologies has been used. In this paper, useful micromachining techniques are described. Examples of integrated microsensors, such as a pressure sensor including a readout circuit and a multisensor cell for blood gas analysis, are introduced. Microflow control devices, such as a microvalve and a micropump for integrated chemical analysis systems, are also described.

本文言語English
ページ(範囲)21-34
ページ数14
ジャーナルApplied Biochemistry and Biotechnology
41
1-2
DOI
出版ステータスPublished - 1993 4 1
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • バイオテクノロジー
  • バイオエンジニアリング
  • 生化学
  • 応用微生物学とバイオテクノロジー
  • 分子生物学

フィンガープリント

「Microfabrication and microsensors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル