Micromachining

S. Shoji*, M. Esashi

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

抄録

In order to fabricate circuit integrated microsensors, micro fabrication techniques based on LSI technologies, that micro-machining, play important roles. In this section useful micro-machining techniques for fabricating integrated sensors are described. The micropackaged structure for integrated sensors is also introduced.

本文言語English
ページ(範囲)47-57
ページ数11
ジャーナルHandbook of Sensors and Actuators
3
DOI
出版ステータスPublished - 1996 12 1
外部発表はい

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  • 制御およびシステム工学
  • 器械工学
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フィンガープリント

「Micromachining」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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