Micromachining

S. Shoji, M. Esashi

研究成果: Article

抜粋

In order to fabricate circuit integrated microsensors, micro fabrication techniques based on LSI technologies, that micro-machining, play important roles. In this section useful micro-machining techniques for fabricating integrated sensors are described. The micropackaged structure for integrated sensors is also introduced.

元の言語English
ページ(範囲)47-57
ページ数11
ジャーナルHandbook of Sensors and Actuators
3
DOI
出版物ステータスPublished - 1996 12 1
外部発表Yes

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フィンガープリント Micromachining' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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