MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THIN SOLID FILMS.

ISAMU KATO, SHIN ICHI WAKANA, SHINJI HARA, HIROSHI KEZUKA

    研究成果: Chapter

    29 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント 「MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THIN SOLID FILMS.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science