MICROWAVE SPUTTERING SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THIN SOLID FILMS.

I. Kato*, H. C. Card, K. C. Kao, S. R. Mejia, L. Chow

*この研究の対応する著者

    研究成果: Article査読

    8 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「MICROWAVE SPUTTERING SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THIN SOLID FILMS.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy