Endformnahe mikrobauteile durch superplastische umformung von metallischem massivglas

Michael Peter Macht*, Thomas Zumkley, Shinsuke Suzuki, Stefan Mechler

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抄録

Because of its good mechanical properties and its smooth surface, the bulk metallic glass Zr 46.8Ti 8.2Cu 7.5Ni 10Be 27.5 (V4) is a suitable material for microcomponents under mechanical stress. Since this glass is very stable to crystallization it allows for a near-net shape production of micro-components by forging the glass in the super-plastic state under small load at temperatures above the glass transition. If the V4 glass is pressed in deep-etched Si dies at a pressure of 5 MPa at 653 K or in NiCo dies manufactured according to the UV LIGA process it becomes possible to produce microcomponents up to 500 μm in thickness with detail dimensions of less than 50 μm at a high precision and surface finish.

寄稿の翻訳タイトルNear-net shape microcomponents obtained by superplastic forging of bulk metallic glass
本文言語German
ページ(範囲)215-223
ページ数9
ジャーナルPraktische Metallographie/Practical Metallography
43
5
出版ステータスPublished - 2006 5 1
外部発表はい

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  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • 材料力学
  • 金属および合金

フィンガープリント

「Endformnahe mikrobauteile durch superplastische umformung von metallischem massivglas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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