Normally close microvalve and micropump fabricated on a silicon wafer.

Masayoshi Esashi*, Shuichi Shoji, Akira Nakano

*この研究の対応する著者

研究成果: Paper査読

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フィンガープリント

「Normally close microvalve and micropump fabricated on a silicon wafer.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science