Normally closed microvalve and mircopump fabricated on a silicon wafer

Masayoshi Esashi*, Shuichi Shoji, Akira Nakano

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フィンガープリント

「Normally closed microvalve and mircopump fabricated on a silicon wafer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science