Observation of electron beam damage in thin-film SiO2 on Si with scanning Auger electron microscope

S. Ichimura*, R. Shimizu

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フィンガープリント

「Observation of electron beam damage in thin-film SiO<sub>2</sub> on Si with scanning Auger electron microscope」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy