Observing diamond defects with an analytical color fluorescence electron microscope

Kazuhito Nishimura*, Tohru Nakano, Hirotami Koike, Hiroshi Tomimori, Hiroshi Kawarada, Akio Hiraki, Kazuo Ogawa

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抄録

We have developed an analytical color fluorescence electron microscope (ACFEM) which is now being studied as a possible tool for evaluating diamonds. The ACFEM permits observation using colors corresponding to cathodoluminescence (CL) wavelengths in the visible region (400-700nm) to distinguish the type, size, and distribution of emission centers and emission bands of diamonds. The ACFEM is an effective tool for determing the conditions used for synthesizing chemical vapor deposition (CVD) diamonds, and is far superior to X-PS and SIMS as a tool for analyzing dopants.

本文言語English
ページ(範囲)267-282
ページ数16
ジャーナルProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
1325
出版ステータスPublished - 1990 12月 1
外部発表はい
イベントDiamond Optics III - San Diego, CA, USA
継続期間: 1990 7月 91990 7月 11

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Observing diamond defects with an analytical color fluorescence electron microscope」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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