On the origin of the gate oxide failure evaluated by Raman spectroscopy

R. Yokogawa, Motohiro Tomita, T. Mizukoshi, T. Hirano, K. Kusano, K. Sasaki, A. Ogura

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「On the origin of the gate oxide failure evaluated by Raman spectroscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science