On the scaling limit of the Si-IGBTs with very narrow mesa structure

Katsumi Eikyu, Atsushi Sakai, Hitoshi Matsuura, Yoshito Nakazawa, Yutaka Akiyama, Yasuo Yamaguchi, Masahide Inuishi

研究成果: Conference contribution

38 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「On the scaling limit of the Si-IGBTs with very narrow mesa structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science