Optical characteristics of a PZT waveguide fabricated using aerosol deposition for optical modulators on LSI chips

T. Shimizu*, M. Nakada, H. Tsuda, J. Akedo, K. Nishi, K. Ohashi

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研究成果: Conference contribution

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抄録

We developed a lead zirconate titanate, Pb(Zr,Ti)O3 (PZT), optical waveguide fabricated using aerosol deposition (AD). The device's optical transmission loss of about 4 dB/mm is comparable with that of AD film. The PZT optical waveguide can meet the requirements of optical modulators for low optical loss.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2007 16th IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics, ISAF
ページ831-833
ページ数3
DOI
出版ステータスPublished - 2007 12 1
外部発表はい
イベント2007 16th IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics, ISAF - Nara-city, Japan
継続期間: 2007 5 272007 5 31

出版物シリーズ

名前IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics

Other

Other2007 16th IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics, ISAF
国/地域Japan
CityNara-city
Period07/5/2707/5/31

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Optical characteristics of a PZT waveguide fabricated using aerosol deposition for optical modulators on LSI chips」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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