Oxidation characteristics of high purity CVD-SiC under low pressure conditions

T. Yoshinaka, Y. Morino

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Oxidation characteristics of high purity CVD-SiC under low pressure conditions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy