Phosphosilicate glass passivation for ULSI Cu metallization

H. Miyazaki*, H. Kojima, A. Hiraiwa, Y. Homma, K. Murakami

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フィンガープリント

「Phosphosilicate glass passivation for ULSI Cu metallization」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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