Photochemical vapor deposition of amorphous silica films using disilane and perfluorosilanes: Defect structures and deposition mechanism

Hidehiko Nonaka*, Kazuo Arai, Yoshiyuki Fujino, Shingo Ichimura

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Photochemical vapor deposition of amorphous silica films using disilane and perfluorosilanes: Defect structures and deposition mechanism」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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