Picosecond electron-beam and synchrotron radiation pulse radiolysis for studies on electron-beam and x-ray resists

Yoichi Yoshida, Hiromi Shibata, Seiichi Tagawa, Masakazu Washio, Yoneho Tabata, Noriyuki Kouchi, Atsushi Ogata

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

抄録

Picosecond electron-beam and synchrotron radiation pulse radiolysis are powerful method to study the reaction mechanism in irradiated electron beam and X-ray resists. The primary processes can be detected spectroscopically by using both pulse radiolysis systems. The details of the pulse radiolysis systems and a typical exsample of pulse radiolysis studies on the resists are introduced.

本文言語English
ページ(範囲)274-281
ページ数8
ジャーナルProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
1086
DOI
出版ステータスPublished - 1989 8月 22
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Picosecond electron-beam and synchrotron radiation pulse radiolysis for studies on electron-beam and x-ray resists」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル