PLZT electro-optic modulators on Si substrates using aerosol deposition for on-chip optical interconnections

T. Shimizu*, M. Nakada, H. Tsuda, J. Akedo, K. Nishi, K. Ohashi

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抄録

We developed lanthanum modified lead zirconate titanate, (Pb,La)(Zr,Ti)03 (PLZT), electro-optic modulators on a Si substrate using aerosol deposition (AD) for on-chip optical interconnections. The modulator was designed as a 250x300 μm ring resonator with a 7 dB extinction ratio at 3 Vp-p. We observed the optical transmission of a PZT waveguide and the transmission loss was as small as 4 dB/mm.

本文言語English
論文番号4347718
ページ(範囲)210-212
ページ数3
ジャーナルIEEE International Conference on Group IV Photonics GFP
出版ステータスPublished - 2007 12 1
外部発表はい
イベント2007 4th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2007 -
継続期間: 2007 9 192007 9 21

ASJC Scopus subject areas

  • 電子工学および電気工学
  • セラミックおよび複合材料
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料

フィンガープリント

「PLZT electro-optic modulators on Si substrates using aerosol deposition for on-chip optical interconnections」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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