Preferred orientation of chemical vapor deposited polycrystalline silicon carbide films

Yuya Kajikawa*, Suguru Noda, Hiroshi Komiyama

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フィンガープリント

「Preferred orientation of chemical vapor deposited polycrystalline silicon carbide films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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