Pressure measurement of 10-10 to 10-12 Pa by nonresonant multiphoton ionization

K. Kokubun*, S. Sekine, S. Ichimura, A. Kurokawa, H. Shimizu

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抄録

In order to increase the ion-detection efficiency of the pressure measurement method using nonresonant multiphoton ionization, an ion-detection head was improved. Using this head, pressure measurements were carried out for H2 and Xe in the extreme high vacuum region. As a result, for H2, by optimizing an incident ion energy, the efficiency increased by a factor of about 2.5. For Xe, without optimizing the incident ion energy, it increased by a factor of about 1.5.

本文言語English
ページ(範囲)557-559
ページ数3
ジャーナルVacuum
47
6-8
DOI
出版ステータスPublished - 1996
外部発表はい

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  • 器械工学
  • 凝縮系物理学
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フィンガープリント

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