Production of active oxygen by ion source

Hiroshi Murakami*, Hug J. Kang, Akira Kurokawa, Ken Nakamura, Shingo Ichimura

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研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)333-335
ページ数3
ジャーナルShinku/Journal of the Vacuum Society of Japan
40
3
DOI
出版ステータスPublished - 1997
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 電子工学および電気工学

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