QUARTZ CRYSTAL MICROMECHANICAL DEVICES.

Toshitsugu Ueda, Fusao Kohsaka, Daisuke Yamazaki, Toshio Iino

研究成果: Conference contribution

18 被引用数 (Scopus)

抄録

The authors are developing several kinds of micromechanical devices (MMD) made from quartz crystal using photolithography and anisotropic etching. A description is given of the mechanical and chemical properties of the quartz crystal used in MMDs, and the mirror galvanometer movement and pressure transducer which use such devices.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルUnknown Host Publication Title
Place of PublicationNew York, NY, USA
出版社IEEE
ページ113-116
ページ数4
出版ステータスPublished - 1985
外部発表はい

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フィンガープリント 「QUARTZ CRYSTAL MICROMECHANICAL DEVICES.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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