Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers

T. Akasaka*, T. Nishida, Y. Taniyasu, M. Kasu, T. Makimoto, N. Kobayashi

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フィンガープリント

「Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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