RELIABILITY OF NANO-METER THICK MULTI-LAYER DIELECTRIC FILMS ON POLY-CRYSTALLINE SILICON.

Y. Ohji, T. Kusaka, I. Yoshida, A. Hiraiwa, K. Yagi, K. Mukai, O. Kasahara

研究成果: Conference contribution

38 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「RELIABILITY OF NANO-METER THICK MULTI-LAYER DIELECTRIC FILMS ON POLY-CRYSTALLINE SILICON.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science