RELIABILITY OF NANO-METER THICK MULTI-LAYER DIELECTRIC FILMS ON POLY-CRYSTALLINE SILICON.
Y. Ohji*, T. Kusaka, I. Yoshida, A. Hiraiwa, K. Yagi, K. Mukai, O. Kasahara
*この研究の対応する著者
研究成果: Conference contribution
40
被引用数
(Scopus)