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研究成果
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Removal conditions of films deposited on probe surface
Isamu Kato
*
, Tsuyoshi Shimoda, Toshihiro Yamagishi
*
この研究の対応する著者
早稲田大学
研究成果
:
Article
›
査読
3
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Removal conditions of films deposited on probe surface」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Physics & Astronomy
bombardment
87%
silicon nitrides
60%
probes
56%
chambers
49%
ions
43%
flux density
24%
vapor deposition
23%
microwaves
21%
electric potential
16%
Engineering & Materials Science
Ion bombardment
100%
Silicon nitride
75%
Plasmas
57%
Chemical vapor deposition
36%
Ions
28%
Microwaves
27%
Fluxes
25%
Electric potential
16%
Experiments
11%