Room-temperature transfer bonding of lithium niobate thin film on micromachined silicon substrate with Au microbumps

Ryo Takigawa*, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Tetsuya Kawanishi

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フィンガープリント

「Room-temperature transfer bonding of lithium niobate thin film on micromachined silicon substrate with Au microbumps」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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