Scanning micromirror using deformation of a parylene-encapsulated liquid structure

Yuta Yoshihata*, Nguyen Binh-Khiem, Atsushi Takei, Eiji Iwase, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Scanning micromirror using deformation of a parylene-encapsulated liquid structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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