Selective growth and contact gap-fill of low resistivity Si via microwave plasma-enhanced CVD

Youngwan Kim, Myoungwoo Lee, Youn Jea Kim*

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Selective growth and contact gap-fill of low resistivity Si via microwave plasma-enhanced CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science