Sensitivity improvement for silicon MS-SW BG sensors by waveguide height increase or by waveguide suspension with supporting shape modification

Siim Heinsalu*, Anna Kawano, Yuji Isogai, Yuichi Matsushima, Hiroshi Ishikawa, Katsuyuki Utaka

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Sensitivity improvement for silicon MS-SW BG sensors by waveguide height increase or by waveguide suspension with supporting shape modification」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds