Si nano-photodiode with a surface-plasmon antenna for sion waveguide-integrated structure

Junichi Fujikata*, Jun Ushida, Daisuke Okamoto, Akiko Gomyo, Kenichi Nishi, Tai Tsuchizawa, Toshifumi Watanabe, Koji Yamada, Seiichi Itabashi, Keishi Ohashi

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

抄録

We developed a Si nano-photodiode with a surface plasmon (SP) antenna for a SiON waveguide-integrated structure. We showed that interfacial periodic nano-scale metal-semiconductor-metal Schottky electrodes function as an SP optical antenna and also as an optical coupler between a SiON waveguide and a very thin Si-absorption layer.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルLEOS 2007 - IEEE Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting Conference Proceedings
ページ929-930
ページ数2
DOI
出版ステータスPublished - 2007 12 1
外部発表はい
イベント20th Annual Meeting of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society, LEOS - Lake Buena Vista, FL, United States
継続期間: 2007 10 212007 10 25

出版物シリーズ

名前Conference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting-LEOS
ISSN(印刷版)1092-8081

Other

Other20th Annual Meeting of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society, LEOS
国/地域United States
CityLake Buena Vista, FL
Period07/10/2107/10/25

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Si nano-photodiode with a surface-plasmon antenna for sion waveguide-integrated structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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