Si//1// minus //xTi//xO//2 GUIDED-WAVE CONNECTING CIRCUITS GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING.

M. Seino*, H. Nakajima, K. Asama

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Si//1// minus //xTi//xO//2 GUIDED-WAVE CONNECTING CIRCUITS GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science