Silicon bulk micromachined accelerometer with simultaneous linear and angular sensitivity

Jun Mizuno*, Kay Nottmeyer, Takashi Kobayashi, Kazuyuki Minami, Masayoshi Esashi

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フィンガープリント

「Silicon bulk micromachined accelerometer with simultaneous linear and angular sensitivity」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science