Silicon micro/nanofabrication using metastable helium atom beam lithography

Z. P. Wang, M. Kurahashi, T. Suzuki, Z. J. Ding, Y. Yamauchi*

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フィンガープリント

「Silicon micro/nanofabrication using metastable helium atom beam lithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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