Simple and Rapid Fabrication Process of Porous Silicon Surface Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

T. Sugaya*, D. H. Yoon, H. Yamazaki, K. Nakanishi, T. Sekiguchi, S. Shoji

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研究成果査読

フィンガープリント

「Simple and Rapid Fabrication Process of Porous Silicon Surface Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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