Statistical model of line-edge and line-width roughness for device variability analysis

Atsushi Hiraiwa*, Akio Nishida, Tohru Mogami

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フィンガープリント

「Statistical model of line-edge and line-width roughness for device variability analysis」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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