Structural characterization of silicon carbide etched by using a combination of ion implantation and wet chemical etching

T. Henkel*, G. Ferro, S. Nishizawa, H. Pressler, Y. Tanaka, H. Tanoue, Naoto Kobayashi

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フィンガープリント

「Structural characterization of silicon carbide etched by using a combination of ion implantation and wet chemical etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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