Study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor

Jun Mizuno, Kay Nottmeyer, Masanori Amemori, Yoshitaka Kanai, Takashi Kobayashi

研究成果: Article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science