Study on resist sensitivities for nano-scale imaging using water window X-ray microscopy

Tomoko Gowa, Tomohiro Takahashi, Akihiro Oshima, Seiichi Tagawa, Masakazu Washio

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Study on resist sensitivities for nano-scale imaging using water window X-ray microscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy