Super high rate thermal plasma CVD of ceramics

Hideyuki Murakami*, Hifumi Nagai, Tohru Irokawa, Toyonobu Yoshida, Kazuo Akashi

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10 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)49-55
ページ数7
ジャーナルNippon Seramikkusu Kyokai Gakujutsu Ronbunshi/Journal of the Ceramic Society of Japan
97
1
DOI
出版ステータスPublished - 1989
外部発表はい

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