Super high rate thermal plasma CVD of ceramics

Hideyuki Murakami, Hifumi Nagai, Tohru Irokawa, Toyonobu Yoshida, Kazuo Akashi

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)49-55
ページ数7
ジャーナルNippon Seramikkusu Kyokai Gakujutsu Ronbunshi/Journal of the Ceramic Society of Japan
97
1
DOI
出版ステータスPublished - 1989
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • Ceramics and Composites
  • Chemistry(all)
  • Condensed Matter Physics
  • Materials Chemistry

フィンガープリント 「Super high rate thermal plasma CVD of ceramics」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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