Superior Schottky electrode of RuO2 for deep level transient spectroscopy on anatase TiO2

Takahira Miyagi*, Masayuki Kamei, Takefumi Mitsuhashi, Atsushi Yamazaki

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抄録

An anatase TiO2 film was epitaxially grown on a conductive Nb-doped single crystalline SrTiO3 substrate. RuO2 Schottky electrode was fabricated on the epitaxial anatase film. The dark current-voltage and capacitance-voltage characteristics for the RuO 2/anatase junction were plotted. The junction enabled deep level transient spectroscopy in the high-temperature region.

本文言語English
ページ(範囲)1782-1784
ページ数3
ジャーナルApplied Physics Letters
83
9
DOI
出版ステータスPublished - 2003 9 1

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  • 物理学および天文学(その他)

フィンガープリント

「Superior Schottky electrode of RuO<sub>2</sub> for deep level transient spectroscopy on anatase TiO<sub>2</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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