Tensor evaluation of stress relaxation profile in strained SiGe nanostructures on Si substrate

M. Tomita, D. Kosemura, K. Usuda, A. Ogura

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Tensor evaluation of stress relaxation profile in strained SiGe nanostructures on Si substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science