Texture of thin silicon films deposited from Si2Cl6

Y. Kato, N. Saito, Akio Fuwa

    研究成果: Article査読

    1 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント 「Texture of thin silicon films deposited from Si<sub>2</sub>Cl<sub>6</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Chemical Compounds

    Physics & Astronomy

    Engineering & Materials Science