The design of MEMS scanner for the three dimensional actuation with a pair of beams

Yohei Oguchi, Chisa Iino, Eiji Iwase*

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フィンガープリント

「The design of MEMS scanner for the three dimensional actuation with a pair of beams」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science