The level set method for etching and deposition

D. Adalsteinsson*, L. C. Evans, H. Ishii

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

抄録

We provide a rigorous interpretation of the level set approach to certain nonlocal geometric motions modelling etching effects in manufacture. The shadowing of certain parts of a surface by other parts gives rise to a nonlocal Hamilton-Jacobi type PDE, with a multivalued Hamiltonian. We also show that deposition effects do not fall within the conventional level set framework, and accordingly must be reinterpreted for numerical implementation.

本文言語English
ページ(範囲)1153-1186
ページ数34
ジャーナルMathematical Models and Methods in Applied Sciences
7
8
出版ステータスPublished - 1997 12
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 数学 (全般)
  • 応用数学
  • モデリングとシミュレーション

フィンガープリント

「The level set method for etching and deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル