The structure control of sputtered TaN films on SiO2 through the study of evolutionary selection growth

Kun Tepsanongsuk, Suguru Noda, Yoshiko Tsuji, Hiroshi Komiyama

研究成果: Conference article

フィンガープリント 「The structure control of sputtered TaN films on SiO<sub>2</sub> through the study of evolutionary selection growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science