The structure control of sputtered TaN films on SiO2 through the study of evolutionary selection growth

Kun Tepsanongsuk*, Suguru Noda, Yoshiko Tsuji, Hiroshi Komiyama

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「The structure control of sputtered TaN films on SiO<sub>2</sub> through the study of evolutionary selection growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

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