Thermal plasma CVD of SiC under reduced pressure

Hideyuki Murakami, Kimihiro Higuchi, Toyonobu Yoshida

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Thermal plasma CVD of SiC under reduced pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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