Thermo-resistive platinum thin film hydrogen gas sensor fabricated by MEMS techniques

Daisuke Yamazaki*, Lin Zhang, Joanna Pawlat, Toshitsugu Ueda

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    フィンガープリント

    「Thermo-resistive platinum thin film hydrogen gas sensor fabricated by MEMS techniques」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science