Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz

Ko Hei Sano, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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