Three-dimensional silicon fabrication using microloading effects with a rectangular aperture mask

Tomoyuki Takahata*, Eiji Iwase, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama

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フィンガープリント

「Three-dimensional silicon fabrication using microloading effects with a rectangular aperture mask」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds