Threshold sheath potential for the nucleation and growth of cubic boron nitride by inductively coupled plasma enhanced chemical-vapor deposition

Satoshi Amagi*, Daisuke Takahashi, Toyonobu Yoshida

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フィンガープリント

「Threshold sheath potential for the nucleation and growth of cubic boron nitride by inductively coupled plasma enhanced chemical-vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy