Toward sub-20 nm hybrid nanofabrication by combining the molecular ruler method and electron beam lithography

C. B. Li, T. Hasegawa, H. Tanaka, H. Miyazaki, S. Odaka, K. Tsukagoshi, M. Aono

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Toward sub-20 nm hybrid nanofabrication by combining the molecular ruler method and electron beam lithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds